三維表面測(cè)量儀是用于測(cè)量三維幾何尺寸和形位公差的高精度測(cè)量儀器。它克服了傳統(tǒng)投影儀和二維影像測(cè)量的不足，是集光學(xué)、機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)于一體的高精度、率、高可靠性的測(cè)量儀器?？傻貦z測(cè)各種復(fù)雜精密零部件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置，全自動(dòng)地進(jìn)行微觀檢測(cè)與質(zhì)量控制。

　　三維表面測(cè)量儀的測(cè)量系統(tǒng)運(yùn)用了PCB抄板技術(shù)研制而成，它采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測(cè)量，測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌，臺(tái)階高度，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)的、價(jià)格合理的計(jì)量方案。

　　三維表面測(cè)量儀廣泛應(yīng)用于汽車、電子、五金、塑膠、模具等行業(yè)中，可以對(duì)工件的尺寸、形狀和形位公差進(jìn)行精密檢測(cè)，從而完成零件檢測(cè)、外形測(cè)量、過程控制等任務(wù)。

　　三維表面測(cè)量儀的全自動(dòng)測(cè)量過程中優(yōu)異的影像識(shí)別能力使得全自動(dòng)測(cè)量成為可能。批量的產(chǎn)品數(shù)百數(shù)據(jù)可以通過按一個(gè)按鈕實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量和自動(dòng)輸出結(jié)果，改變傳統(tǒng)的依靠經(jīng)驗(yàn)的手動(dòng)測(cè)量方式，使自動(dòng)測(cè)量的重復(fù)性控制在微米級(jí)，極大程度地提高檢測(cè)水平，促進(jìn)制造品質(zhì)的提高。

　　可以加裝激光、探針、轉(zhuǎn)臺(tái)等傳感器，實(shí)現(xiàn)一個(gè)坐標(biāo)系下的多元傳感的綜合應(yīng)用，提供了復(fù)雜測(cè)量難題的解決方案。

　　使用冷光源系統(tǒng)，可以避免容易變形的工件在測(cè)量是因?yàn)闊嶙冃嗡a(chǎn)生的誤差，并避免了由于碰觸引起的變形。

　　工件可以隨意放置，不需找正。不受零件表面紋理和材質(zhì)影響的高度方向的精密測(cè)量，實(shí)現(xiàn)真正的非接觸式的3D測(cè)量。使得微細(xì)制造的零件在測(cè)量高度、平面度及空間角度等位置關(guān)系方面成為可能，并且具有高可靠性的測(cè)量準(zhǔn)確性和重復(fù)性。