三維表面形貌測量儀IF-Sensor R25

三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 是奧地利alicona公司專門針對生產(chǎn)中全自動(dòng)測量形貌和粗糙度而設(shè)計(jì)的一款光學(xué)三維測量儀。

三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 系 統(tǒng)

傳感器與生產(chǎn)線相結(jié)合使得在測量微米和亞微米級(jí)別的表面特性時(shí)該設(shè)備可以提供高分辨率，可重復(fù)型和可溯源的結(jié)果。所測得結(jié)果的分辨率是傳統(tǒng)2D測量和接觸式測量所不能比擬的。

R25 優(yōu) 勢

在研發(fā)和生產(chǎn)過程中，自動(dòng)變焦（Focus-variation)技術(shù)可以提供高分辨率、高重復(fù)性的測量結(jié)果。因此 R25為研發(fā)和生產(chǎn)提供了同一個(gè)測量流程平臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)化界面(QDAS)支持生產(chǎn)中的簡易快速整合，實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)線和實(shí)驗(yàn)室測量結(jié)果的對比。

R25的技術(shù)參數(shù)：

位移距離（Z）：26mm（自動(dòng)調(diào)節(jié)）

zui大掃描高度：25mm

*垂直分辨率：20nm

zui小測量半徑：2µm

zui小測量楔角：20°

zui小測量粗糙度(Ra):80nm

zui小測量粗糙度(Sa):50nm

zui大測量傾斜角：87°